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Otsuka大塚電子晶圓膜厚儀
產品型號:半導體行業ELSEneo納米粒度儀
產品品牌:Otsuka大塚電子
產品介紹:

Otsuka大塚電子的晶圓膜厚儀采用分光干涉法進行非接觸、無損測量,適用于硅晶圓、玻璃基板等材料的厚度檢測,具備高精度、實時監測等特點。

詳細介紹

Otsuka大塚電子的晶圓膜厚儀采用分光干涉法進行非接觸、無損測量,適用于硅晶圓、玻璃基板等材料的厚度檢測,具備高精度、實時監測等特點。 ?

ELSZneo是ELSZ系列中的前沿產品,可以測量從稀溶液到濃溶液的 Zeta 電位和粒徑以及分子量測量。作為一項新功能,我們采用了多角度測量來提高分辨率它還可以進行顆粒濃度測量、微流變測量和凝膠網絡結構分析。

新型 Zeta 電位平板樣品池具有新開發的高鹽度對應涂層,可在生理鹽水溶液等高鹽環境中測量。我們還有一系列超微量池單元,測量僅微量3μL樣品的粒徑,擴展了生命科學領域的可能性。

(*選配功能)

  • 可測量從稀溶液到濃溶液 (~ 40%) 的寬濃度范圍內的粒徑和 Zeta 電位

  • 多角度測量可實現高分辨率粒度分布測量

  • 可在高鹽環境下測量平面樣品的 Zeta 電位

  • 可以使用靜態光散射法測量粒子濃度

  • 可通過動態光散射法進行微流變測量

  • 可以通過測量凝膠樣品的多個點來評估凝膠的網絡結構和不均勻性

  • 使用標準流體樣品池可以連續測量粒徑和 Zeta 電位

  • 具有0到90℃之間的寬溫度范圍

  • 通過溫度梯度功能可以進行蛋白質的變性、相變溫度分析等

  • 通過測量樣品池中的電滲透流量和繪圖分析提供高精度的 zeta 電位測量結果

  • *可安裝熒光截止濾光片

 Specifications

測量原理 粒徑 動態光散射法(光子相關法)
Zeta 電位 電泳光散射法(激光多普勒法)
分子量 靜態光散射法
光學系統 粒徑 零差光學系統
Zeta 電位 外差光學系統
分子量 零差光學系統
光源 大功率半導體激光器
檢測器 高靈敏度 APD
樣品池
標準流體樣品池(zeta 電位/粒徑)
粒徑樣品池
粒徑多角度樣品池
溫度
0 ~ 90℃ (帶溫度梯度功能)
電源 220V±10%, 250VA
尺寸重量 330(W) x 565(D) x 245(H)mm, 約 22kg
分子量 340 ~ 2,000x10^4
粒徑 0.1 ~ 10,000nm
電泳移動度 -20x10^-4 ~ 20x10^-4cm2/V·s
Zeta 電位 無限制
溫度           0 ~ 90℃
濃度          

*粒徑: 0.00001%(0.1ppm) ~ 40%,

  Zeta 電位: 0.001% ~ 40

 Measurement 

  測量項目

    ● 分子量

    ● 粒徑

    ● Zeta 電位

    ● 粒子濃度

    ● 微流變

    ● 凝膠的網絡結構

  測量范圍

*乳膠 112nm: 0.00001 ~ 10%, ?;悄懰? ~ 40% 

 Applications 

   ELSZneo非常適合在表面化學、無機物質、生命科學、半導體、聚合物、生物學、制藥和醫學領域中,不僅是細微顆粒,也非常適合薄膜和平板的處理表面科學的基礎和應用研究。


● 新型功能材料

  - 燃料電池(碳納米管、富勒烯、纖維素納米纖維、功能薄膜、催化劑、納米金屬)

  - 生物納米技術(納米膠囊、樹枝狀大分子、DDS、生物納米顆粒)、納米氣泡、生物相容性材料


● 陶瓷和顏料

  - 陶瓷(二氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦)

  - 無機溶膠的表面改性、分散、凝聚的控制

  - 炭黑和有機顏料的分散和凝聚

  - 漿態樣品

  - 彩色濾光片

  - 浮選吸附研究


● 半導體

  - 晶圓表面異物附著的機理研究

  - 研磨劑/添加劑在晶圓表面的相互作用研究

  - CMP漿料


● 聚合物和化工

  - 乳液(油漆/粘合劑)的分散/聚集控制,乳膠的表面改性(醫藥/工業用途)

  - 聚電解質(聚苯乙烯磺酸鹽、聚羧酸等)、功能納米粒子的功能研究

  - 紙漿造紙過程控制與紙漿添加劑研究


● 醫藥/食品工業領域

- 乳液(食品/香料/醫療/化妝品)的分散/聚集控制,蛋白質功能

- 脂質體/囊泡的分散/聚集控制,表面活性劑(膠束)的功能

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