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日本MIKASA株式會(huì)社對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)：提供技術(shù)支持，安裝，培訓(xùn)！

Mikasa Co.， Ltd.

總裁 Yasuhiro Asano 

PCB的常見(jiàn)問(wèn)題

1.在*大樣品量下，可以使用多厚的基材？
至于厚度，每個(gè)型號(hào)的*大兼容板尺寸假設(shè)為 2 mm 左右。 如需厚度為 2 mm 或更大的電路板，請(qǐng)聯(lián)系我們。

2.是否可以將旋涂機(jī)應(yīng)用于硅晶片以外的物體？
我們?cè)诓Ａ?、膠片、鏡頭、光盤(pán)等方面都有良好的記錄。

3.關(guān)于電路板的定心方法。

由于樣品臺(tái)的制造使其與基板的尺寸相同，因此如果外部形狀匹配，則可以對(duì)中對(duì)于 MS-A100 以外的型號(hào)，可選擇對(duì)中夾具（對(duì)接）。

4.在旋涂過(guò)程中，我在繞過(guò)電路板背面時(shí)遇到問(wèn)題。 有沒(méi)有對(duì)策？
它可以通過(guò)反沖洗來(lái)處理。 雖然它是一個(gè)可選機(jī)制，但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。

5.可以涂覆水溶性溶劑嗎？
還有與基材的粘附問(wèn)題，因此請(qǐng)先與我們聯(lián)系。

● 準(zhǔn)分子處理：這是一種通過(guò)去除基板表面的有機(jī)物并利用短波長(zhǎng)紫外線能量和產(chǎn)生的臭氧對(duì)表面進(jìn)行親水處理來(lái)提高玻璃基板表面附著力的處理。

樣品架（卡盤(pán)支架）

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旋轉(zhuǎn)塗佈機(jī) - SpinCoater -

成膜管理

功能
 採(cǎi)用AC伺服電動(dòng)機(jī)
● 無(wú)刷式，不會(huì)造成無(wú)塵室汚染。
● 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上昇造成對(duì)膜厚再現(xiàn)性的影響。
● 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■ 擴(kuò)張程式功能
● *多有100階段程式、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)位式真空計(jì)
■ 方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置，超方便
■ **裝置機(jī)構(gòu)(真空壓及蓋子)
● 由於薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時(shí)，可以變更**裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動(dòng)壓力。
標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

規(guī)格

型號(hào)		MS-B100	MS-B150
基板尺寸		MAXΦ4inch(75×75mm)	MAXΦ6inch(100×100mm)
旋轉(zhuǎn)數(shù)		50~7,500rpm	50~7,000rpm
旋轉(zhuǎn)精度		±1rpm	±1rpm
蓋子		壓克力	壓克力
**裝置	蓋子	選配	選配
	真空	○	○
滴下裝置		不可裝配	選配
使用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
電源		AC100~110V 50/60Hz 5A	AC100~110V 50/60Hz 5A
外形尺寸(mm)		260W×230H×330D	360W×302H×435D
外觀

型號(hào)		MS-B200	MS-B300
基板尺寸		MAXΦ8inch(150×150mm)	MAXΦ12inch(200×200mm)
旋轉(zhuǎn)數(shù)		50~5,000rpm	20~5,000rpm
旋轉(zhuǎn)精度		±1rpm	±1rpm
蓋子		PC	PC
**裝置	蓋子	○	○
	真空	○	○
滴下裝置		選配	選配
使用真空源		-0.08~0.1MPa	-0.08~0.1MPa
電源		AC100~110V 50/60Hz 5A	AC200~240V 單相　5A
外形尺寸(mm)		503W×350H×580D	545W×381H×702D
外觀

MS-B200密閉型

特點(diǎn)

■ 可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn)，均勻塗膜
■ EB光刻劑塗佈效果佳
■ 低沸點(diǎn)溶劑塗佈效果佳
■ 可減低光刻劑的使用量

MS-B300密閉型

特點(diǎn)
■ 可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn)，均勻塗膜
■ EB光刻劑塗佈效果佳
■ 低沸點(diǎn)溶劑塗佈效果佳
■ 可減低光刻劑的使用量